アクティブ微振動制御装置「TACMI®」販売台数が400台を突破
～半導体・精密機器分野以外の先端研究分野でも引き合い～
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2007年4月6日 株式会社竹中工務店 |
(株)竹中工務店（社長：竹中統一）が独自に開発し、開発パートナーである特許機器㈱（本社：尼崎市、社長：岡本興三）を通して1989年に販売を開始した世界最高性能のアクティブ微振動制御装置「TACMI®」の販売実績が、400台を突破し（2007年3月現在）、半導体・液晶・精密加工分野を中心に国内シェア約70％（※当社推定）を誇るロングセラー製品となっています。当社のデジタル製品工場向けの商品・技術パッケージ「セキュア ファブ・ワークス」にも組み込まれており、FPD業界で世界最大の展示会である「ファインテック・ジャパン」（東京ビッグサイト、4月11日～13日）でも紹介します。
販売先の業種は、「液晶・精密機器」61％、「半導体」28％、「大学・研究機関・官公庁」6％、「自動車」「その他」5％となっています。販売当初は、半導体・液晶製造装置のニーズが中心でしたが、近年は非球面加工機などの超精密加工分野、SQUID磁力計や核磁気共鳴装置(NMR)などの医療・薬品・バイオ分野、研究機関では重力波検出器、リニアコライダ用装置など、先端研究分野で実績があります。また、工場が都市部に近いところに建設される傾向が強まっていることで、交通振動などへの対策から引き合いが活発化しています。
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＜アクティブ微振動制御装置「TACMI®」＞
半導体や電子部品などの精密機器の加工・検査機械に影響を及ぼす振動をアクティブに制御するオーダーメイドの微振動制御装置です。半導体の精密加工に必要とされる振動許容レベル0.5Gal以下の微振動から震度3程度の地震入力に対して、入力床面の振動を1/30から最大1/100まで低減します。
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