1９９８年１２月１６日
クリーンルーム用の壁紙「ケミカルフリークロス」を開発
半導体・液晶などの品質に影響を与えるケミカル(化学)物質の発生を防止
(株)竹中工務店
（株）竹中工務店(本社・大阪市、社長・竹中統一、資本金・500億円)はリリカラ（株）（本社・東京都新宿区、社長・山田大補、資本金・29．13億円）と共同で、クリーンルームの壁や天井の仕上げに最適で低コストの壁紙「ケミカルフリークロス」を開発しました。
「ケミカルフリークロス」は来年４月にリリカラ(株)より正式発売される予定です。
ケミカルフリークロス（特許共同出願済）」は、ケミカル物質（空気中に含まれる様々なガス状化学物質）が悪い影響を与える半導体や液晶製造などのクリーンルーム向けに新開発した壁紙で、クロス表面をケミカル物質のバリア効果（遮蔽性）の高いＥＶＯＨ
（エチレンビニルアルコール）樹脂フィルムでコーティングしています。「ケミカルフリークロス」は、クロスの材料や接着剤などに含まれる各種ケミカル物質が外に漏れ出るのを高いレベルで遮蔽し、耐薬品性、帯電防止性、加工性にも優れていることが性能試験で確認されました。
「ケミカル物質」は、(1)外気中の排ガス、農薬、海塩粒子など、(2)生産装置関連の薬液類、(3)作業者の発汗や呼気、(4)クリーンルーム内の建材など様々な発生源を持ち、その種類も多岐にわたります。特に建築の仕上げや設備などの建材・機材から発生するケミカル物質は、長期間にわたり減衰しないものもあり、発生してからの事後対策は非常に厄介です。
竹中工務店では、ケミカル物質を防止する「ケミカルフリー」のクリーンルームを次世代半導体製造施設の重要な機能の一つに位置づけ、ケミカル物質の低減に総合的に取り組んでいます。今回の「ケミカルフリークロス」の開発はその一環です。
一般的に、壁紙には難燃剤、可塑剤などが使われており、ケミカル物質が微量ながら室内に抜け出てきます。これらの濃度はppt（1兆分の１）レベルで極めて微量とはいえ、高集積の半導体や液晶などの製品の品質や歩留まりに悪影響を与えます。このため、次世代のクリーンルームではケミカル物質の制御が非常に重要となります。
これまでも、クリーンルーム用の汚れにくい壁紙（クリーンクロス）はありますが、ケミカル物質のバリア効果の十分なものはありませんでした。
そこで両社は、壁紙に含まれる難燃剤、可塑剤から脱離するケミカル物質を従来の1／100に低減し、汚染濃度を十分低いレベルに抑制できる壁紙を共同で開発を進め、新製品「ケミカルフリークロス」が誕生しました。
◆「 ケミカルフリークロス 」について
「ケミカルフリークロス」は３層の材料で構成されており、ベースとなる水酸化アルミニウム紙層（厚さ150ミクロン）の上に、帯電防止用の塩化ビニル樹脂層（厚さ100ミクロン）をのせ、表面をＥＶＯＨ樹脂フィルム（厚さ15ミクロン）でコーティングしています。ＥＶＯＨフィルムはバリア効果を始め、耐薬品性、加工性、施工性に優れ、塩化ビニル樹脂層により帯電も防止します。
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