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アクティブ微振動装置 TACMI

世界最高性能の微振動低減装置

概要

アクティブ微振動制御装置(TACMI)は、半導体産業に代表される先端産業施設を対象として、除振テーブルに加えられる水平方向と上下方向の微振動を回転運動も含めてアクティブに制御し、超精密加工・検査機器に超微細振動環境を提供する装置です。TACMIは高性能除振テーブル、振動センサ、ディジタルサーボジュール、アクチュエータから構成されます。テーブルの動きと床の動きをキャッチし、振動を打ち消す力を瞬時にテーブルに加えることにより、あたかも空間に静止したような作業環境を創出します。0.5gal、0.5μm程度の微振動から震度3程度の地震まで、入力床面の振動を最高1/100に低減する超微振動環境を提供します。また、TACMIには、大型重量機器用(実績40t)、半導体クリーンルーム用、あらゆる種類の振動に対応する超高性能タイプ、磁気を発生しない磁気シールドタイプなどさまざまなバリエーションがあります。2007年3月現在で400台以上の納入実績があります。

アクティブ微振動制御装置 TACMI

特長

  • 超精密環境下で有害な微振動を約1/30に低減する世界最高性能の大型装置
  • リニアモータ、エア、ピアゾ素子の3種類のアクチュエータで制御することにより半導体製造に必要な微細な振動環境を実現
  • 数100Kg程度の軽量機器~10t以上の重量装置まで、機器個別にデザイン可能
  • 装置の厚みも最低250mm程度から設計可能であり、ほとんどすべての半導体工場の二重床に適応可能

振動波形

適用事例

独立行政法人 情報通信研究機構 神戸研究所未来ICTセンター(1998年)(旧 郵政省 通信総合研究所関西先端技術センター「脳機能研究棟」)

世界初のアクティブ除振機能を持つ磁気シールドルーム。磁気シールドルーム全体を除振台に載せてエアアクチュエータにより微振動を排除します。

磁気シールドルームとその床下に設置された「TACMI」