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超精密環境制御実験室

様々な製造プロセスに対応した環境技術を紹介します。

製造プロセスに対応した製造環境を、超精密環境制御技術で実現し、製品歩留まり向上を図ります。

局所クリーン化ユニット

局所クリーン化されたミニエンバイロメント空間のみ、ナノ粒子やケミカル物質を高度に制御し、空調を省エネ化します。

環境制御モジュール

要求レベルに応じて、温度、クリーン度、ケミカル濃度を高精度に制御できるダクトレス空調ユニットです。

超精密温度制御技術(±0.01℃)

電子ビーム直接描画などの次世代露光プロセスに対応した超精密室温環境(±0.01℃以下)を再熱ヒーターを使わず、冷水冷却のみで実現し、製品の品質を向上、省エネルギーに貢献します。

防振クリーンルーム架構

機械や人の動作から発生する振動が周辺へ及ぼす影響を高性能に防ぎます。


  • 高度な製造環境の実現(歩留まり向上)
  • 地球環境への配慮(グリーンファブ)
  • 製造環境構築(トータルエンジニアリング)